一种薄膜加工优化控制方法及系统

本发明公开了一种薄膜加工优化控制方法及系统，其包括：获取并分析薄膜加工过程的历史加工数据，确定影响薄膜厚度的关键加工参数；提取关键加工参数的特征，并基于特征和预设模型构建厚度预测模型进行预测得到厚度预测数据；基于厚度预测数据构建薄膜的厚度分布图，并确定其中厚度分布区域及厚度特征；基于厚度分布区域及厚度特征对薄膜的厚度分布进行评估，得到薄膜的分布质量评估值，并基于其确定优化系数；基于优化系数对薄膜的实时加工数据进行优化调节，以控制薄膜的加工。本发明通过预测确定出当前加工出的薄膜分布，并进行分析确定优化系数，来优化当前加工过程，解决了薄膜厚度不均匀、波动较大的问题，减少了废品率，提高了生产效率和质量。