摘要
本发明公开一种高散热封装方法及结构,该方法包括以下步骤:第一步,将芯片贴装在载板上;第二步,在芯片表面覆盖金属层;第三步,将所有芯片用介质层包裹起来;第四步,减薄介质层直至露出芯片;第五步,将散热层键合在芯片表面,之后去除载板,露出芯片的金属垫面;第六步,在芯片的金属垫面制备金属线路层一;第七步,在金属线路层一上制备绝缘介质层;第八步,在绝缘介质层上制备金属线路层二;第九步,在金属线路层二上制备绝缘层;第十步,植球、切割成单个封装体。本发明设置散热层,使热量及时散出,提高产品的可靠性;设置金属层以实现导热和信号屏蔽,提高产品的信号品质;封装效率高,一次可封装上万颗封装体,从而显著降低封装成本。
技术关键词
封装方法
芯片
线路
高散热封装结构
散热层
绝缘材料
介质
封装体
光刻法
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锡球
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