一种用于12寸晶圆载具自动搬运导向车

本发明公开了一种用于12寸晶圆载具自动搬运导向车，包括AGV车身、机械臂、夹爪、3D视觉定位组件及控制系统；所述机械臂固定安装于AGV车身的一端顶部，机械臂的末端与夹爪可拆卸连接；所述3D视觉定位组件嵌装于夹爪朝向晶圆载具的一侧表面；所述控制系统集成于AGV车身内部，且分别通过导线与机械臂、3D视觉定位组件及AGV车身的驱动单元电连接，本发明结构设计新颖，实现了晶圆载具从货架到机台、从机台到货架的全自动化搬运，无需人工干预，减少了人工成本，同时避免了人工搬运造成的工伤问题，此外，通过采用3D视觉二次定位技术，AGV对晶圆载具的抓取精度误差可控制在±1mm范围内，满足了高精度抓取的需求，保证了搬运过程的准确性。