一种基于多轴协同控制的光学检测方法及系统

本发明公开了一种基于多轴协同控制的光学检测方法及系统，属于光学检测技术领域，包括以下步骤：系统初始化；路径规划：采用螺旋路径规划函数得到路径点序列；之后进行多轴反解轨迹规划；控制器实时采样机械臂各关节的角度向量，并输入至控制律函数；视觉补偿，包括图像误差计算，以及采用图像误差转空间补偿算法生成位置补偿量；引入多轴协同运动控制算法；主动振动预测模型将机械臂系统描述为动态方程；在控制器中加入阻抗控制模型；图像拼接融合；检测判别。本发明能够实现300mm晶圆的高速、高精度、100%全幅覆盖检测，并将检测误差稳定控制在±1μm以内，显著提升了半导体制造的缺陷检测水平与良率控制能力。