一种准确测定氧化镓单晶晶轴取向的方法

本发明公开了一种准确测定氧化镓单晶晶轴取向的方法，涉及材料科学技术领域，包括，通过量子纠缠传感器网络采集氧化镓单晶的声学原始数据；对声学原始数据进行压缩重构处理，构建声速各向异性张量，并生成晶格振动特征图谱；根据晶格振动特征图谱构建酶促反应动力学模型，定义酶促微分方程，并计算稳态晶向角浓度值；将稳态晶向角浓度值映射至晶圆空间坐标，通过求解扩散方程建立稳态晶向角浓度场分布矩阵，将稳态晶向角浓度场分布矩阵转换为晶轴取向偏差热力图；本发明通过量子纠缠态的超导传感器网络，提升空间分辨率和时间分辨率，克服了现有物理表征方法对样品表面平整度和洁净度的依赖性。