一种槽内透镜及其制备方法和应用

本发明提供了一种槽内透镜及其制备方法和应用，涉及透镜制备技术领域。本发明提供的四种槽内透镜的制备方法，都只需使用光刻胶做ICP刻蚀掩膜，无需额外增加其他材料(例如氧化铝，氮化硅、二氧化硅、金属等)做掩膜层，在光刻过程中制作出槽内胶透镜作为掩膜，只需进行一次ICP刻蚀，即可将槽内胶透镜形貌转移至基底材料内部，极大地简化槽内透镜的制备工艺过程，大幅提升槽内透镜的良率和均匀性，降低成本。本发明制备的槽内透镜对输入的红外光信号起到准直、聚焦作用，能有效提升探测器芯片的灵敏度，在半导体光通讯、激光雷达等探测器芯片制造中具有很好的应用前景。