一种基于图像识别的晶圆边缘缺陷检测方法、系统及存储介质

本申请提供了一种基于图像识别的晶圆边缘缺陷检测方法、系统及存储介质，属于半导体制造技术领域，该方法包括：对环形图像数据进行处理，得到目标图像数据；将目标图像数据输入边缘缺陷预测模型，得到缺陷概率分布图；基于缺陷概率分布图，识别出概率值大于或等于预设阈值的像素区域作为候选缺陷区域；对候选缺陷区域进行特征提取，得到目标特征向量；将目标特征向量输入缺陷分类模型，确定候选缺陷区域的缺陷类型及分类置信度；基于缺陷类型和/或分类置信度，从候选缺陷区域中筛选出目标缺陷区域；获取目标缺陷区域的三维点云数据，基于三维点云数据，计算目标缺陷区域的三维几何参数；基于缺陷类型和三维几何参数，确定目标晶圆的检测结果。