摘要
本发明提供了一种失效芯片的筛选方法,包括:提供待测试的芯片,芯片包括浮栅、ONO层和控制栅依次位于部分栅氧化层的表面,浮栅、ONO层和控制栅内形成有字线栅,字线栅通过第一侧墙与浮栅的侧壁以及与ONO层的侧壁隔开,字线栅还通过第一侧墙以及第二侧墙分别与控制栅的侧壁隔开,字线栅连接形成字线,控制栅连接形成控制线,一个字线栅和一侧的一个控制栅形成一个存储单元;对所有存储单元均进行写00操作;对控制线和同一存储单元的字线分别施加第一电压和第二电压,压差为17.3V~25V,第一电压大于0,第二电压小于0;对存储单元进行擦除操作和读11操作,如果读取的值非11,则芯片失效。
技术关键词
筛选方法
存储单元
芯片
控制线
浮栅
电压
侧墙
栅氧化层
二氧化硅
衬底
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