摘要
本发明涉及一种基于颈部微槽应力引导的SiP封装焊球结构及其制造方法,其中制作方法包括以下步骤:S1、建立SiP封装器件的有限元模型,设置网格划分的初始参数并对模型进行优化,生成SiP封装器件有限元网格模型;S2、根据SiP封装器件的工况,施加边界条件和载荷,对三维SiP封装器件有限元网格模型进行多轴应力分析,计算SiP封装器件在不同工况下的应力分布和温度变化;S3、生成应力分布图,根据应力分布图的位置和应力值信息定位SiP封装器件中焊球的应力集中区域,识别应力集中系数大于指定阈值的焊球位置为加工区域;S4、对在加工区域的焊球进行刻蚀,沿焊球的周向刻蚀形成至少一条连续的环形微槽。本发明引导应力分布、抑制界面裂纹,提升封装可靠性。
技术关键词
封装器件
有限元网格模型
应力
微槽
有限元分析软件
焊球
金属间化合物
环形
工况
氩气流量
仿真软件
刻蚀工艺
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参数
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