碳纳米管激光抛光质量实时监测系统、方法、电子设备及介质

本说明书实施例提供了一种基于光学相干断层扫描OCT和二次离子质谱仪SIMS的碳纳米管激光抛光质量实时监测系统、方法、电子设备及介质，其中，系统包括：超快激光抛光装置，根据激光参数对碳纳米管薄膜进行高精度激光抛光；OCT光学监测系统，实时监测超快激光抛光装置在抛光过程中碳纳米管薄膜的表面形貌，得到OCT数据；SIMS化学成分分析模块，检测抛光前后碳纳米管薄膜的表面元素组成及杂质含量，得到SIMS数据；智能反馈控制系统，基于OCT数据和SIMS数据，利用机器学习算法优化超快激光抛光装置的激光参数；数据处理与存储模块，存储并分析OCT数据和SIMS数据，生成表面质量评估报告，并根据智能反馈控制系统的反馈远程调整激光参数。