一种电子束量测设备灰度模板匹配方法及系统

本发明公开了一种电子束量测设备灰度模板匹配方法及系统，方法包括步骤：S1、对采集的SEM模板图像和待匹配图像，基于噪声水平估计的非局部均值算法进行去噪处理；S2、基于去噪图像，通过U‑Net编码‑解码神经网络结构生成显著性区域掩膜Mask；S3、对去噪模板图像及掩膜Mask，生成多角度和多尺度的变换模板集；S4、基于变换模板集、掩膜及待匹配图像，并行计算带掩膜的NCC值；S5、对多组NCC结果进行非极大值抑制，保留交并比IoU小于预设值的最高得分匹配位置，输出最终匹配坐标。本发明通过采用多种方法和策略对基于灰度的模板匹配算法在鲁棒性和计算速度上都有较大提升。