一种应用于电子束量测设备的图像处理方法及系统

本发明公开了一种应用于电子束量测设备的图像处理方法及系统，方法包括：S1.采集多组样本的原始图像，对每幅原始图像进行叠加平均生成无噪图像；从原始数据中采样，生成多张含噪图像，形成与单张无噪图像对应的多组数据对，并对多组数据对进行预处理；S2.输入预处理后的多组数据对，提取浅层特征；同步估计噪声类型与水平，输出噪声特征；S3.将浅层特征与噪声特征拼接，进行特征提取，得到深层特征；S4.融合浅层特征与深层特征，经卷积层降维后，通过像素混洗操作进行上采样，同步输出去噪后的目标分辨率图像。本发明在提高分辨率的同时保证成像质量。