晶圆探针台快速校准装置及方法

本发明公开了晶圆探针台快速校准装置及方法，涉及晶圆探针台技术领域，包括基架，所述基架的表面固定安装有基台和支架，所述支架的内部固定安装有激光测距仪，所述基架的内部设置有校正机构，此晶圆探针台快速校准装置及方法，在将待测晶圆芯片放置在支台上后，通过电动推杆带动立柱向下移动，同时使支台带动待测晶圆芯片转动，且立柱通过第一齿轮和传动组件使转杆同时转动，通过支套对待测晶圆芯片进行限位，同时避免对晶圆芯片的周侧产生摩擦，以使晶圆芯片在向下移动时居中，随后支台向上复位，通过一次纵向位移即可完成晶圆芯片的校正工作，从而有效提升晶圆芯片的校正效率，同时结构简单、制造成本和使用成本低。