具有二维层状电极的铁电薄膜及其制备方法

本发明提供一种具有二维层状电极的铁电薄膜及其制备方法，铁电薄膜包括：铁电氧化铪薄膜以及设置于铁电氧化铪薄膜上的二维层状的氮化二钙电极。本发明的氮化二钙与氧化铪(111)面内晶格匹配性优异，晶格的失配度极低，有利于实现异质结构的高质量外延生长，为器件制造提供结构基础。本发明的氮化二钙与氧化铪能在界面处形成稳定的化学键（如Hf‑N和O‑Ca），可以有效增强界面结合力，提升器件的结构稳定性。本发明的氮化二钙能显著抑制氧化铪薄膜中的退极化场，使其铁电极化强度恢复并超越氧化铪块体，可以显著提升氧化铪的铁电性能。