晶圆级光感芯片封装结构及其制备方法

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晶圆级光感芯片封装结构及其制备方法
申请号:CN202511057824
申请日期:2025-07-30
公开号:CN120882122A
公开日期:2025-10-31
类型:发明专利
摘要
本发明公开了晶圆级光感芯片封装结构及其制备方法封装结构,封装结构包括玻璃基板、光学传感器芯片、SOC功能芯片和塑封部,玻璃基板背面的凹槽内设有光学传感器芯片,玻璃基板背面设有第一再布线金属层,第一再布线金属层表面焊接SOC功能芯片;玻璃基板内的第一导电通孔贯穿玻璃基板正面和背面,第二导电通孔自光学传感器芯片正面延申至玻璃基板正面;玻璃基板正面设有第二再布线金属层,光学传感器芯片通过第二导电通孔与第二再布线金属层电性连接;第二再布线金属层不覆盖玻璃基板正面的中间区域;不影响光学传感器芯片的工作。本发明具有更高封装密度,更高电性能传输,更好的封装结构的强度,避免了封装结构翘曲等问题。
技术关键词
光学传感器芯片 布线金属层 玻璃基板 芯片封装结构 正面 覆盖玻璃 导电 芯片堆叠 堆叠光学 通孔 凹槽 锡球 密度 电路 强度
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