一种氧化物中杂质含量的分析方法及系统

本发明涉及氧化物杂质分析领域，具体为一种氧化物中杂质含量的分析方法及系统；所述方法包括以下步骤：设置氧化物杂质样本，通过氧化物杂质样本构建参考杂质数据库，对参考杂质数据库进行分析，获得参考杂质数据集；获取待测氧化物样本的待测谱图序列，对待测谱图序列进行分析，获得待测谱图子序列，并构建待测谱图事件链；对待测谱图事件链进行分析，获得去噪谱图事件链；结合参考杂质数据集对去噪谱图事件链进行分析，获得待测氧化物样本的匹配杂质数据集以及未匹配杂质数据集；对匹配杂质数据集以及未匹配杂质数据集进行分析，获得待测氧化物样本的杂质分析结果。本发明能提升杂质识别的精度。