一种用于半导体测量设备的融合标定方法及系统

本发明公开了一种用于半导体测量设备的融合标定方法，包括步骤：S1：执行光学导航仪标定，以建立CCD相机图像坐标系与工件台坐标系之间的第一转换关系；S2：执行SEM图像标定，以建立SEM图像坐标系与工件台坐标系之间的第二转换关系；S3：基于S1生成的第一转换矩阵和S2生成的第二转换矩阵，实现CCD相机图像坐标系、SEM图像坐标系与工件台坐标系的融合标定；其中，融合标定用于在半导体晶圆测量中，通过CCD相机的大视野进行初定位以区分重复图案，并通过SEM图像的高分辨率进行精定位，达到nm级精度。本发明具有显著提升半导体测量设备的精度、稳定性和效率等优点。