摘要
本发明提供一种用于流体粘度检测的微流控芯片及其制作方法,涉及微流控芯片技术领域。所述微流控芯片自下而上依次包括:玻璃底板、电极层下层、电极层上层,PDMS盖板层。其中,电极层下层和电极层上层一体成型,形成双层电极层,PDMS盖板层、双层电极层、玻璃底板之间形成流道腔室,双层电极层分隔为两个主电极,两个主电极连接底部悬空的U型电极。液体样本流经悬浮的U型电极时,根据粘度的不同对U型电极产生不同的作用力,实现粘度变化的电信号输出。本发明提供的微流控芯片通过将三维柔性微电极在流体作用下产生的形变转化为电信号,实现了对流体粘度的实时监测,具有结构简单、响应灵敏、便于集成的优点。
技术关键词
双层光刻
紫外光刻机
显影液
碳纳米管
电信号
微流控芯片技术
导电填料
柔性电极材料
光刻胶
聚二甲基硅氧烷
银纳米颗粒
玻璃
流道
作用力
模版
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