一种薄膜加工设备的智能管理系统

本发明涉及薄膜加工管理技术领域，公开了一种薄膜加工设备的智能管理系统，包括：设定模块，用于确定待加工场景并提取历史加工日志，根据历史加工日志设定薄膜加工设备的特征因子，并生成第一管理指令；计算模块，用于采集实时加工数据，并预测未来时段的状态数据以及环境数据，并计算加工数据差值、预测状态数据差值以及预测数据差值；管理模块，用于根据预测状态数据差值以及预测数据差值生成状态影响系数以及环境影响系数，并结合加工数据差值生成对应特征环节的实时加工评价值，并判断是否需要调整，若是，生成第二管理指令，提高对于不同加工场景的加工参数设定合理性，提高薄膜加工设备的管理效率、产品质量以及生产效率。