电容器金属化薄膜多源协同蒸镀方法及其金属化薄膜

本发明公开了电容器金属化薄膜多源协同蒸镀方法及其金属化薄膜，包括以下步骤：S1、多源蒸发，采用多个蒸发源，各蒸发源通过独立的加热控制系统进行温度调控，使不同金属材料在各自的最佳蒸发温度下稳定蒸发；S2、协同控制，在蒸镀腔室内设置多个高精度的膜厚传感器和成分分析仪。本发明多个蒸发源同时工作，且通过协同控制实现高效配合，相比单源蒸镀，大大缩短了蒸镀时间，提高了生产效率，能够满足大规模工业化生产的需求，精确的协同控制机制保证了金属化薄膜的厚度均匀性和成分一致性，有效提高了薄膜的电气性能稳定性，膜层与基底薄膜之间的附着力增强，减少了在后续加工和使用过程中出现脱膜等问题的可能性。