一种半导体制造智能工厂光刻区动态调度方法及系统

本发明提出了一种半导体制造智能工厂光刻区动态调度方法及系统，该方法包括：初始化算法相关参数；种群初始化；计算适应度值；蜂鸟进行基于差分变异策略的随机引导觅食或基于高斯变异策略的领域觅食；动态监测种群停滞状态，超阈值触发全局重启机制，同时迭代次数若为预设迁移系数倍数时触发局部个体重置以迁移觅食；判断当前迭代次数是否小于算法最大迭代次数，若是，当前迭代次数加一，转入S4；否则，输出最优调度方案。本发明在保持了标准人工蜂鸟算法优化能力的基础上，融合了差分变异策略和高斯变异策略的优点，增强了算法的随机性和搜索能力，具有更好的全局寻优能力，为求解具有多约束、大规模特点的光刻区调度问题提供了有效的新途径。