薄膜器件的性能测试方法

本公开提供了一种薄膜器件的性能测试方法，包括：对第一电压序列和稳态电流序列进行非线性拟合，得到待测器件中介质层的等效电学厚度，等效电学厚度指示了在介质层的微观结构影响下，由第一电压序列产生的电场在介质层中的分布状态所呈现出的厚度，稳态电流序列是通过在待测器件上施加连续变化的第一电压序列采集到的；通过在待测器件上施加连续变化的第二电压序列，采集电容序列，基于电容序列得到介质层的第一电容，第二电压序列是在直流电压序列上通过叠加交流信号得到的；基于等效电学厚度和第一电容，得到用于表征待测器件中薄膜的电学性能的测试结果。