一种精密异形光学元件环抛监测方法及系统

本申请提供一种精密异形光学元件环抛监测方法及系统，属于监测技术领域，首先，基于PMD动态干涉仪在目标环抛周期中获取初始RMS值，基于RMS值获取对应的初始补偿参数，基于初始补偿参数确定环抛设备初始补偿压力，然后，基于初始补偿压力确定环抛设备的第一环抛逻辑，第一环抛逻辑包括以第一循环变力的形式向待环抛元件施加实际环抛压力，最后，当动态RMS值小于预设RMS值时，停止环抛。通过以第一循环变力的形式向待环抛元件施加实际环抛压力，使得工件材料在压力增大周期粘弹性行为对工件精度的影响和工件材料在压力减少周期粘弹性行为对工件精度的影响相互抵消，尽可能的消除了材料粘弹性行为对精度的影响。