一种掩模版的布局方法及相关产品

本发明提供了一种掩模版的布局方法及相关产品。布局方法包括在掩模版上划分出多个芯片框架区域，各芯片框架区域用于设置对应芯片的芯片版图，在各芯片框架区域之间具有切割道；构建量测布局框架，量测布局框架用于设置一种或多种量测链接标签，每种量测链接标签分别对应于一个量测图形，量测图形用于反映掩模版在芯片制造过程中的对应工艺指标；在一个或多个切割道内分别设置一个或多个量测布局框架。相比于通过参数化工具多次迭代布局，本方法减少了掩模版的布局次数，提高了量测图形的排版效率。