摘要
本发明涉及机械臂技术领域,具体的说是一种晶原体机械臂,包括底座,底座的内部安装有第一电机,第一电机的输出端通过驱动机构,驱动机构上连接有空心壳,空心壳的周边等间距固定连接有连接管,连接管的端部固定连接有第一吸盘,空心壳的上端安装有吸附加固机构。本发明通过在空心壳上布局了四个配备有第一吸盘的连接管,并增设了一个吸附加固机构,四个第一吸盘的合理配置显著增强了晶圆被夹持时的稳定性,在晶圆夹取过程中,这四个第一吸盘与吸附加固机构的四个橡胶块和托板协同作业,即便在面临第一吸盘或第二吸盘可能出现松动的不利条件下,橡胶块凭借自身的摩擦性和贴合性,依然能将晶圆紧紧抵靠在对应的第一吸盘上。
技术关键词
底盘
机械臂技术
安装板
托板
橡胶块
电机
立柱
底座
螺杆
中心线
输出端
通风槽
间距
马达
布局
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