一种智能宽光谱膜厚实时监控系统及方法

本发明公开了一种智能宽光谱膜厚实时监控系统及方法，涉及在线监测技术领域，所述系统包括：近似模型获取模块，同步设计参数并匹配获取近似薄膜模型集；模型更新模块，根据设计参数与材料本征参数更新模型参数，生成备选模型集；光谱采集模块，通过宽光谱光源采集反射光并转换为反射干涉谱；模型调整与输出模块，基于非线性最小二乘法迭代优化备选模型，输出残差最小的目标薄膜模型；监控结果提取模块，从目标模型中提取薄膜厚度作为膜厚监控结果。进而达成提高测厚适应性、提高测厚精度的技术效果。