摘要
本发明公开了一种新型红外传感器及柯伐帽内镀吸气剂的加工工艺,涉及红外探测技术领域,公开了包括陶瓷管壳,所述陶瓷管壳的内壁底部连接有衬底,所述衬底的内壁底部固定连接有芯片,所述衬底的内壁左右侧均固定连接有吸气剂,所述衬底的内壁底部固定连接有吸气剂,所述衬底的顶部四周固定连接有金属层,所述金属层的内壁相邻一侧固定连接有AR层,所述AR层的外壁顶部固定连接有光窗,所述光窗的外壁顶部设置有柯伐帽。相比传统结构的传感器,本发明的传感器结构,吸气剂固定在衬底的两侧和底部,因此,体积更小,成本更低,封装后的真空度更高,芯片性能更好。
技术关键词
新型红外传感器
陶瓷管壳
吸气剂
衬底
隔离阀
横移电机
放气阀
红外探测技术
样品室
真空度
靶材
传感器结构
实验室设备
样品托盘
气体电离
薄膜结构
启动系统
低温泵
薄膜型
芯片
系统为您推荐了相关专利信息
沟槽隔离结构
电阻结构
沟槽结构
半导体主体
外延
柔性触觉传感器
可拉伸衬底
导电银胶
预聚物
拉伸薄膜