一种新型红外传感器及柯伐帽内镀吸气剂的加工工艺

AITNT
正文
推荐专利
一种新型红外传感器及柯伐帽内镀吸气剂的加工工艺
申请号:CN202510485269
申请日期:2025-04-17
公开号:CN120160715A
公开日期:2025-06-17
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种新型红外传感器及柯伐帽内镀吸气剂的加工工艺,涉及红外探测技术领域,公开了包括陶瓷管壳,所述陶瓷管壳的内壁底部连接有衬底,所述衬底的内壁底部固定连接有芯片,所述衬底的内壁左右侧均固定连接有吸气剂,所述衬底的内壁底部固定连接有吸气剂,所述衬底的顶部四周固定连接有金属层,所述金属层的内壁相邻一侧固定连接有AR层,所述AR层的外壁顶部固定连接有光窗,所述光窗的外壁顶部设置有柯伐帽。相比传统结构的传感器,本发明的传感器结构,吸气剂固定在衬底的两侧和底部,因此,体积更小,成本更低,封装后的真空度更高,芯片性能更好。
技术关键词
新型红外传感器 陶瓷管壳 吸气剂 衬底 隔离阀 横移电机 放气阀 红外探测技术 样品室 真空度 靶材 传感器结构 实验室设备 样品托盘 气体电离 薄膜结构 启动系统 低温泵 薄膜型 芯片
系统为您推荐了相关专利信息
1
沟槽隔离电阻结构及其制作方法
沟槽隔离结构 电阻结构 沟槽结构 半导体主体 外延
2
用於改善光纤与晶片衬底或芯片的位置的带侧面抛光的光纤阵列
光纤阵列 抛光 衬底 芯片
3
图像传感器及其制造方法
透光材料 图像传感器 滤光 颜色 衬底
4
骨传导MEMS芯片及其制造方法、具有该骨传导MEMS芯片的骨传导封装结构
MEMS芯片 背板电极 蚀刻 振膜 封装结构
5
一种基于kirigami结构的具有应变不敏感特性的柔性触觉传感器及其制备方法
柔性触觉传感器 可拉伸衬底 导电银胶 预聚物 拉伸薄膜
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号