一种钙钛矿谐振光栅波导结构制备方法及光栅波导结构

本发明公开了一种钙钛矿谐振光栅波导结构制备方法及光栅波导结构，通过对谐振光栅波导参数进行粒子群优化，可在目标谐振波长下实现场增强因子的最大化；通过衬底超声清洗工艺保证了ITO/玻璃界面的洁净度，为单晶钙钛矿薄膜的均匀生长提供了高质量基底；根据优化后的波导层厚度反向确定生长参数，获得CsPbBr3单晶薄膜，确保波导模式的高保真传输；通过将光栅高度映射为旋涂转速、时间及预烘条件，精准制备出与设计值匹配的光刻胶层，为高分辨率电子束曝光奠定基础；最后，基于优化周期和占空比实施电子束曝光与显影，在钙钛矿薄膜表面制备出边缘清晰、结构完整的周期性微纳光栅。