一种多层可动光芯片

本申请公开了一种多层可动光芯片，属于半导体技术领域，包括底部传光导电层、中间低损耗介质波导层和顶部可动层；其中，低损耗介质波导层作为核心光学介质层，与上下两层协同构建高性能光学操控元件，突破了传统光器件对薄硅层光操控方式的依赖，创造性实现了功能重构：将光传输主体切换为低损耗波导层，同时将传统薄硅结构的核心功能转换为导电传光；既有效解决了MEMS硅光技术中的光损耗问题，又通过强化底部薄硅层电学驱动和传输功能，显著提升了系统性能，使之可充分满足MEMS‑硅光芯片信号处理单元及光网络系统的性能需求。