一种电镜成像动态补偿系统、方法以及电子显微镜

本申请涉及电子显微镜技术领域，特别是涉及一种电镜成像动态补偿系统、方法以及电子显微镜。所述系统包括：位移监测模块用于监测位置数据；信号解算模块与位移监测模块相连接，用于接收位置数据并将位置数据转换为位移量信号并输出；主控模块与信号解算模块相连接，用于基于预设的补偿算法对位移量信号进行处理，生成偏转控制信号；补偿驱动模块与主控模块相连接，用于接收偏转控制信号并输出相对应的补偿电压，补偿驱动模块还用于根据补偿电压对驱动信号进行叠加补偿，并输出补偿调节后的驱动信号；补偿成像模块与转换驱动模块相连接，用于基于补偿调节后的驱动信号输出偏转校正后的成像电子束。采用本方法能够降低像差，提高成像精度。