一种基于多自由度运动工作台的纳米级高精度定位方法

本发明公开了一种基于多自由度运动工作台的纳米级高精度定位方法，涉及大行程与高精度定位领域，步骤包括：S1：初始化运动工作台，确保系统处于零位状态；S2：上位机发送目标位置指令，驱动宏动台快速运动至目标至附近；S3：获取当前位置，根据目标位移与当前实际反馈位移值，计算出距离目标位置偏差，并生成微动台控制参数；S4：生成控制指令，执行纳米级位移补偿；S5：迭代修正微动台位移，直至激光干涉仪反馈的偏差满足要求。本发明将大行程(百毫米)运动的定位精度提升至纳米级，适用于光刻机、超精密加工、生物显微操作等领域，提高了装备性能与工艺水平。此外，系统采用模块化设计，可根据需求适配不同驱动与传感单元，具有强扩展性。