一种分子泵电机实时参数的优化方法、设备和介质

本发明公开了一种分子泵电机实时参数的优化方法、设备和介质，涉及分子泵技术领域，其技术方案要点是：获取分子泵电机的实时参数；依据实时参数构建分子泵电机的数学模型；采用带遗忘因子的递推最小二乘法求解数学模型，计算出实时参数的预测误差，并依据预测误差更新参数矩阵；将更新后的参数矩阵输入至预先构建的卡尔曼滤波器，得到卡尔曼增益；根据卡尔曼增益对实时参数进行更新，将更新后的实时参数输入至数学模型，计算出d轴和q轴的预测电压值；采集分子泵电机d轴和q轴的实际电压值，计算出预测电压值与实际电压值之间的均方误差，若均方误差符合阈值，则以更新后的实时参数作为分子泵电机实时参数的优化结果。