MEMS微镜的制备系统和制备方法

本发明公开了一种MEMS微镜的制备系统和制备方法，制备系统包括：加工装置，用于在晶圆键合前对晶圆的上表面进行加工，在晶圆键合后、解键合前对晶圆的下表面进行加工，以形成多个MEMS微镜芯片；键合装置，用于将晶圆与临时键合材料进行键合，其中，晶圆的上表面为键合面；解键合装置，用于采用干法解键合技术分离晶圆和临时键合材料；分拣装置，用于在晶圆解键合后对晶圆上的多个MEMS微镜芯片进行自动分拣，区分合格芯片与不合格芯片；其中，加工装置、键合装置、解键合装置和分拣装置均位于同一制造设施内。采用制备系统制备MEMS微镜可以简化生产流程，降低成本，提高产品质量和生产自动化水平。