砷化氢反应釜温度控制方法及装置、设备、存储介质

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砷化氢反应釜温度控制方法及装置、设备、存储介质
申请号:CN202511120165
申请日期:2025-08-12
公开号:CN120610588B
公开日期:2025-11-14
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种砷化氢反应釜温度控制方法及装置、设备、存储介质,属于温度控制技术领域,该方法包括:基于目标反应釜内不同监测位置的温度数据,计算目标反应釜的第一温度值;基于目标反应釜当前所处的反应阶段判断第一温度值是否属于反应阶段所对应的预设范围;该预设范围是由目标最大温度值和目标最小温度值所组成的温度范围;若第一温度值不属于预设范围,计算第一温度值与目标最小温度值之间的第一差值,或者,计算第一温度值与最大温度值之间的第二差值;基于第一差值、第二差值中的任一项,以及压力数据,对目标反应釜内换热介质的控制参数和/或反应液参数进行调整,以控制目标反应釜的温度。本申请可以实现对反应釜温度的有效控制。
技术关键词
阶段 数据 流速 温度控制技术 阀门 压力 参数 反应釜温度 PID算法 可读存储介质 处理器 模块 存储器 计算机 电子设备 关系
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