摘要
本发明提供了一种芯片传输检测设备,包括:传输机构和检测工位,检测工位包括安装架、下压检测机构、视觉检测机构以及测试座,传输机构传递芯片于测试座;传输机构带动芯片穿过安装架以运动至测试座的过程中经过视觉检测机构,视觉检测机构沿垂直于传输机构的运动方向位移以对芯片表面各处进行视觉检测;下压检测机构包括驱动机构以及压板组件,缓冲部内由弹性件围成气腔,压板组件与芯片接触的过程中气腔内通入的气体通过弹性件与压板组件之间施加相互作用力。本发明用以解决现有技术中存在的测试前已发生损坏的芯片进行测试而影响芯片测试效率的问题,以及芯片测试过程中存在较高损坏率而影响芯片良率的问题。
技术关键词
视觉检测机构
传输机构
压板组件
下压检测机构
检测设备
测试座
平移机构
浮动组件
传动皮带
芯片测试效率
镜头
弹性件
导向组件
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