一种混合微腔阵列的波导结构及半导体芯片

本发明涉及光导领域，具体来说，涉及一种混合微腔阵列的波导结构及半导体芯片。本发明提出的技术方案：采用沿条形波导按阿基米德螺线螺旋排布直径互异的圆形微腔阵列的结构，实现了非均匀模式分布，有效抑制了相邻微腔的谐振串扰，通过倏逝场耦合机制建立了能量传递通道，显著降低了模式串扰；同时通过对圆形微腔阵列的直径设置为满足斐波那契数列分布，实现非线性谐振波长间隔，提升相同阵列密度下的可用信道数量；本发明还引入多边形微腔及Quadruple变形腔，提升倏逝场耦合效率且避免混沌能量累积串扰。