一种多模态融合域迁特征驱动的晶圆表面缺陷表征方法

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种多模态融合域迁特征驱动的晶圆表面缺陷表征方法，该步骤：首先对多模态数据进行特征提取与融合，再通过多层级域对抗网络进行全面的特征对齐。将对齐后的特征显式分离为域不变与域变两部分；然后通过自注意力机制增强域不变特征，并与对齐后的多模态特征进行最小信息损失重组，构建出高质量的最终特征集。基于此，一个多任务学习框架即可并行输出缺陷的种类、测量与定位结果。通过多层级域对抗与精细化的特征解耦重组策略，有效克服了因生产批次或设备更迭引发的域偏移难题，实现了对晶圆表面缺陷精准、鲁棒且全面的智能化表征。