摘要
本发明涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种超声波指纹识别芯片的超薄型封装方法,包括如下步骤:S1:玻璃基板进行底部电极沉积与图案化处理;S2:铺设PVDF层;S3:顶部电极沉积与图案化处理;S4:进行钝化打印,得到钝化层;S5:使用焊盘和芯片FC技术将芯片安装在玻璃基板上;S6:打印柱子;S7:塑封;S8:构建塑封体内部的垂直导电通道;S9:进行解键合操作,将芯片与外部电路连接起来;S10:切割,得到单个的超声波指纹识别芯片封装产品;本发明将感应区域芯片和接口放在一起,这种布局极大地节省了内部空间,这种集成方式也使得芯片整体的尺寸更小更薄,顺应了市场对于轻薄电子产品的需求。
技术关键词
超声波指纹识别
封装方法
玻璃基板
芯片封装产品
电极
激光打孔技术
PVDF薄膜
半导体封装技术
柱子
气相沉积技术
导体材料
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