基于持续学习的薄膜制备工艺数字化调节系统

本发明提供基于持续学习的薄膜制备工艺数字化调节系统，涉及薄膜制备技术领域，包括数据流形构建模块、非线性参数调控模块、多模态扰动感知模块和拓扑序列重构模块；系统内部设有超维度记忆网络，网络包括工艺参数超体、性能特征超体和自适应遗忘曲线算法，本系统通过多模态扰动感知模块实时监测工艺环境中的真空度骤降、气源纯度波动、材料批次变化等扰动，利用熵源追踪算法快速计算稳定曲率向量并进行动态校正。结合超维度记忆网络的自适应遗忘曲线算法，能够动态管理历史数据，保留核心知识，使系统在面对扰动时能迅速做出反应。