摘要
本发明提供了一种TMBS芯片的有源区元胞、TMBS芯片及电路结构,涉及TMBS芯片技术领域。使用了沟槽型肖特基与MOS二极管并联结构,其中沟槽型肖特基的正向开启电压约0.4V左右,MOS二极管的开启电压约0.2V左右。当该二极管芯片正向偏置时,P型掺杂区靠近栅氧结构一侧会感生n型导电沟道,电子从漏极通过感生的n型导电沟道流向漏极,实现低电压优先开启,完美地解决了肖特基二极管开启电压相对偏高的问题,大大降低了二极管正向压降。而在正向大电流工况下,当正向压降大于0.4V时,与MOS二极管并联的肖特基二极管正向开启,进一步拓展了电流通路,增强过流能力,进而使芯片具有超低正向压降的特性。
技术关键词
沟槽结构
N型衬底
肖特基势垒
P型掺杂区
肖特基二极管
n型导电沟道
终端结构
沟槽型
大电流工况
多晶硅
阴极金属层
栅氧结构
二极管芯片
外延
钝化结构
阳极
并联结构
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