摘要
本发明公开了一种扇出型封装产品及封装方法,包括所述对待作业产品第一面进行线路层一制作,通过旋转涂布的方式涂布PI‑1层,再进行曝光显影并固化,在所述PI‑1层上制作开孔A,通过溅射工艺在所述PI‑1层上溅射金属种子层;通过旋转涂布的方式涂布光阻层,再进行曝光显影后制作开孔B,且在开孔A与开孔B处电镀金属层1M,将对应位置的光阻层去除后形成开孔C。本发明属于扇出型封装产品领域,具体是指一种扇出型封装产品及封装方法;本发明通过容易出现分层或开裂,影响散热路径的稳定性的问题。
技术关键词
封装方法
作业产品
涂布
线路
电容器
实心结构
扇出型封装结构
种子层
保护膜
光罩
玻璃
芯片
电镀
光刻胶
显影液
包封
晶圆
分层