一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法、装置及介质

本发明属于晶圆制造领域，公开了一种集成电路晶圆工艺的知识推理方法、装置及介质，包括：通过对晶圆图像进行多模态特征的提取；进行晶圆知识检索；进行文档排序；生成查询答案。本发明通过三个核心阶段逐步实现复杂查询的动态分解与高精度解决。引入的多模态链式推理框架使模型能够将逻辑推理与多模态信息相结合，构建连贯的解决链以应对复杂任务。