摘要
本发明公开了用于提高板级封装桥接芯片可靠性的封装方法,涉及芯片封装领域,包括S1、制备塑封的桥接芯片组和塑封体;S2、对塑封的桥接芯片组和塑封体进行研磨;S3、塑封体上开设凹槽;S4、将桥接芯片固定放置在凹槽内;S5、在塑封体上制作上层的RDL线路和连接点Pad;S6、在RDL线路上贴附器件,并封装得到成品芯片。在晶圆Wafer上生产桥接芯片时完成塑封和研磨工艺,利用晶圆Wafer良好的工艺总厚度偏差性能,确保桥接芯片的连接点露出;载体级Panel上封装桥接芯片嵌入后,不需要再对桥接芯片的Pad进行研磨工艺,规避了载体级Panel的工艺总厚度偏差性能极难控制的影响;工艺过程中桥接芯片先完成塑封,再进行研磨工艺,相比未塑封的桥接芯片,机械强度提升。
技术关键词
桥接芯片组
封装方法
线路
凹槽
芯片封装
偏差
载体
成品
电镀
激光
基板
机械
强度
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