摘要
本发明涉及一种衍射光学元件的制备方法,包括以下步骤:根据目标光场功能进行逆向设计,计算得到对应的目标相位分布图;在基片表面旋涂光取向材料层;将所述目标相位分布图加载至空间光调制器,利用紫外光源发出的光束经数字微镜器件调制后生成结构化光场,并投射至光取向材料层上进行曝光,诱导光取向材料发生定向光化学反应;在曝光后的光取向材料层表面旋涂液晶层,使液晶分子按预设取向排列形成衍射光学元件。与现有技术相比,本发明利用数字微镜调控替代传统的掩模光刻与刻蚀工艺,克服了现有技术对于衍射光学元件制作周期长、成本高昂、功能固定、难以独立使用等难题,实现了衍射光学元件的快速、低成本、可编程、高性能的制备。
技术关键词
空间光调制器
数字微镜器件
相位恢复算法
紫外光源
衍射光学元件制作
光学成像系统
分子间相互作用力
像素阵列结构
光束
取向层
可编程功能
排列模板
基片
微镜阵列
旋涂工艺
图像传感器
刻蚀工艺
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