真空紫外光源芯片及微型光离子化检测器

本公开实施例提供了一种真空紫外光源芯片及微型光离子化检测器，属于光离子化检测器领域。该真空紫外光源芯片应用于光离子化检测器，包括：第一衬底；设置于第一衬底上的第一硅电极层，第一硅电极层包括间隔布置的第一激发电极和第二激发电极；间隔布置于第一衬底的远离第一硅电极层的一侧且相互绝缘的第一焊盘和第二焊盘；设置于第一硅电极层的远离第一衬底的一侧的透紫外光盖板，透紫外光盖板与第一硅电极层之间形成有气体腔，气体腔中填充有第一气体。本公开能够实现真空紫外光源芯片及PID的高集成化、微型化和低成本化，并且能够提高真空紫外光源芯片及PID的可靠性。