一种成像方法及装置

本发明属于光学检测技术领域，公开一种成像方法及装置。白光干涉系统在垂直扫描过程中采集样品的干涉图像；谱域干涉系统同时采集干涉光谱，基于干涉光谱解算垂直扫描位移量；干涉图像与垂直扫描位移量进行联合解调，获得样品的高度信息，构建三维表面形貌；位移信息由谱域干涉系统提供，用于替代高精度位移台的位移测量。对谱域干涉光谱进行快速傅里叶变换，解算相位并进行相位展开，从而获得垂直扫描位移量。在白光干涉中增加谱域干涉技术，对移动平台的位置进行检测，不需要高精度移动平台，消除了PZT易受到机械滞后、非线性的影响。本发明极大程度增加了测量范围，解调精度不依赖扫描步长，能在大扫描步长下提供高精度解调，扫描速度快。