一种面向半导体制造的气态分子污染物在线监测系统

本发明属于半导体制造管理技术领域，具体地说是一种面向半导体制造的气态分子污染物在线监测系统，包括小尺寸溯源动态历史影响分析模块、多源实时监测预警模块、前瞻性预警分析模块、主动式控制检测模块和智能化反馈界面；本发明的小尺寸溯源动态历史影响分析模块基于混合模型，结合历史数据和实时数据，能够预测污染物未来影响趋势并划分等级，从而便于企业提前制定应对策略，合理安排生产计划，降低污染物对产品良率的影响，前瞻性预警分析模块，能够模拟污染物扩散路径，定位高风险工位，并通过贝叶斯网络分析污染物来源与传播路径，输出根因概率排序列表，从而便于为污染物的防控和治理提供依据，能够快速准确地采取针对性措施。