摘要
本发明提供一种纵扭超声振动辅助加工微流控芯片的方法,通过选取具有纵扭超声振动功能的加工主轴,调整所述加工主轴的加工参数,在玻璃待加工材料的表面加工出主通道、支路通道以及混合通道,在表面进行贴膜后,形成微流控芯片成品;能够在纵扭超声振动的辅助作用下,使得玻璃待加工材料所受到的残余应力转化为压力,从而使得玻璃待加工材料更不容易发生断裂损毁,并且降低加工刀具与玻璃待加工材料之间的摩擦力,还可以降低加工刀具与玻璃待加工材料之间的磨损和热损伤,延长加工刀具的使用寿命,极大降低了加工成本。
技术关键词
微流控芯片
硼硅酸盐玻璃
玻璃材料
金刚石刀具
通道
贴膜
支路
参数
成品
应力
平台
频率
压力
速度
尺寸
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