翘曲晶圆的承载机构及探针台

本申请提供一种翘曲晶圆的承载机构及探针台。承载机构包括：卡盘，卡盘具有通孔及多个收容槽；第一吸盘组件，第一吸盘组件包括多个第一吸盘，第一吸盘至少部分收容于收容槽内；及第二吸盘组件，第二吸盘组件包括顶杆及第二吸盘，顶杆穿设于通孔，顶杆沿预设方向延伸，顶杆具有连接端，连接端用于连接第二吸盘，顶杆能够带动第二吸盘沿预设方向移动，且第二吸盘组件具有连接端凸出于承载面的第一状态及连接端收容于通孔的第二状态；当第二吸盘组件处于第一状态时，第二吸盘组件可吸附晶圆；当第二吸盘组件处于第二状态时，第一吸盘组件和第二吸盘组件共同吸附晶圆，使得承载机构能够有效地吸附翘曲的晶圆。