MOM电容、电荷泵电路及其制备方法

本发明提供一种MOM电容、电荷泵电路及其制备方法。所述MOM电容包括至少一层网状的电极层，所述电极层包括若干电极单元，所述电极单元包括：第一子电极，所述第一子电极具有若干插指；第二子电极，所述第二子电极与所述第一子电极电位互异，且也具有若干插指；其中，所述第一子电极的若干插指和第二子电极的若干插指在多个方向上交叉排布。本发明可以提高单位芯片面积上的MOM电容的电容值，解决现有的MOM电容面积大、浪费电极材料、工艺难度高的问题。